近年来，低温等离子体改性技术在生物质材料、高分子材料、金属材料等领域都有广泛的应用，其在生物质材料领域的研究尤为活跃，经低温等离子体表面处理制备的超疏水性、阻燃性等功能材料被大量报道。在高分子材料领域，低温等离子体改性法常被用于制备超疏水性塑料薄膜；材料、医用抗菌性口罩、防污无纺布等。通过低温等离子体化学气相沉积法沉积后的金属具有耐腐蚀、耐磨的作用。此外，低温等离子体改性技术还在三废处理、半导体材料、电子科技类产品、电子电路、超导材料等领域获得丰硕的研究成果。

  低温等离子体对材料具备改性作用源于被电离的气体中含有带能量的电子、离子和亚稳态 、激发态 、游离态粒子，这些粒子具有不稳定性和活泼性，产生等离子体的同时会伴有红外线等各种各样的形式的光辐射，能量粒子和能量光辐射在材料中易引起解吸、掺杂、刻蚀、溅射和降解、交联、表面接枝、界面聚合等一系列物理化学反应

  等离子体处理后的材料表面会引入 Ｃ⁃Ｏ、Ｃ＝Ｏ、Ｏ⁃Ｈ 等含氧官能团，增强材料表面润湿性，同时会使材料表面结构和成分发生明显的变化，改变材料的表面能，增加表面附着力

  当温度低于４００ ℃时活性粒子和光辐射会对反应气体进行分解，在材料表面生成沉积物导致材料表面性质发生明显的变化，从而改变其性能

  非反应气体处理材料时气体本身不会进入材料表面参与反应，而是被电离成等离子体后以粒子的形式轰击材料表面，对材料表明上进行刻蚀以提高其表面能，被活化的材料表面产生了许多自由基，自由基之间交联形成网状结构改变了材料性能。

  低温等离子体表面处理法中反应气体对材料的改性效果非常明显，宏观上能大大的提升材料的表面润湿性、粗糙度、黏结强度等，微观上能大大的提升细胞的蛋白吸附、细胞附着、细胞增殖和分化等。

  运用低温等离子体反应气体处理材料表面时不仅对材料表面有刻蚀作用，电离的气体还会与材料表面分子键结合引入⁃ＯＯＨ、⁃ＳＯ３、⁃ＮＨ２、⁃ＯＨ 等活性基团，从而改善材料性能。

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