2005年推出SC-DC16300-B型单晶槽式制绒酸洗设备，正式进军光伏行业

  2006年研发SC-DC16200-C型单晶槽式制绒酸洗设备，成功向市场推出硅片清洗设备

  2010年推出PD-380型PECVD设备，实现对印度出口；虫族深圳捷佳创业务，收购常州捷佳创，全面实现业务整合

  2015年推出低压扩散设备，推出多款自动化设备和传输线年新型管式PECVD设备和扩散炉实现量产

  2020年成为全世界第一家HJT电池全工序自主开发的整线提供商；在日本成立首个海外研发中心，切入半导体赛道

  2021年二合一TCO镀膜设备研发完毕，HJT中试线成功运行；实现TOPCon整线设备交付能力

  较早进入光伏设备领域，经过多年积累，PERC、TOPCon、HJT、HBC、IBC、钙钛矿等技术的设备均有布局，并向半导体设备领域延伸

  主要产品有PECVD及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产的基本工艺流程中的主要及配套自动化设备、智能车间系统和高端显示、先进半导体的湿法、炉管类设备研发、制造和销售

  管式硼扩散炉、管式低压淀积炉LPCVD、管式等离子体多晶硅薄膜淀积炉PECVD

  HJT清洗制绒设备、HJT板式等离子体增强化学气相沉积设备PECVD、HJT反应式等离子体镀膜设备RPD

  晶体硅电池线交钥匙工程、晶硅电池AGV智能生产线、高效HJT太阳能电池智能生产线. PERC领域与国内外多个有突出贡献的公司建立了长期合作伙伴关系，包括晶澳、隆基、通威、晶科、天合等国内领先光伏企业

  中标了晶澳科技的TOPCon湿法与干法设备与通威和中来在TOPCon领域均有合作

  与爱康科技以及润阳集团分别签署2GW和5GW的异质结电池项目战略合作框架协议

  2022年一季度，实现盈利收入13.63亿，同比增长15.77%，归母净利润2.73亿，同比增长29.26%

  7月21日公告成功中标全球太阳能某头部客户的PEPoly路线的TOPCon电池项目，中标设备包括湿法、PE-Poly、硼扩散、PECVD正背膜等，表明公司在TOPCon电池的PE-Poly路线设备再一次取得了头部客户的充分肯定，同时也标志着PE-Poly设备TOPCon电池生产线. HJT

  2. 2022年6月，研发生产的8吋Cassette-less清理洗涤设施顺利交付至上海积塔半导体有限公司并开始验证阶段，运作情况良好。近期，中标积塔半导体11台半导体湿法设备重复订单，制程范围涵盖8吋至12吋，包括1台半自动清理洗涤设施(8寸/12兼容)、1台金属钛去除机、2台湿法去胶机、2台氧化物去除酸槽、1台控片清洗机、1台氮化硅去除酸槽、2台聚合物去除酸槽、1台铝刻蚀酸槽

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